რეაქტიული მაგნეტრონული დაფქვა არის მომწიფებული ტექნიკა თხელი ნაერთის ფენის დეპონირებისთვის სუბსტრატების ფართო გამაზე როგორც ზედა ფენა ან როგორც შუალედური ფენა მრავალშრიანი საფარით. "თხელი" დიაპაზონი მერყეობს რამდენიმე ნანომეტრიდან რამდენიმე მიკრომეტრამდე.
რატომ აფურთხებს მაგნიტრონი?
მაგნიტრონის ჭყლეტა არის შეჯახების პროცესი ინციდენტურ ნაწილაკებსა და სამიზნეებს შორის … მაგნიტრონის დაფხვრა ზრდის პლაზმის სიმკვრივეს სამიზნე კათოდის ზედაპირზე მაგნიტური ველის შემოღებით და შეზღუდვების გამოყენებით. მაგნიტური ველი დამუხტულ ნაწილაკებზე, რათა გაზარდოს დაფრქვევის სიჩქარე.
რა იგულისხმება რეაქტიულ თხრილში?
რეაქტიული ჭურჭელი არის პროცესი, რომელიც საშუალებას აძლევს ნაერთებს დეპონირდეს რეაქტიული აირის (ჩვეულებრივ ჟანგბადის ან აზოტის) შეყვანის გზით პლაზმაში, რომელიც ჩვეულებრივ წარმოიქმნება ინერტული აირით, როგორიცაა არგონი (ყველაზე გავრცელებული), ქსენონი ან კრიპტონი.
როგორ მუშაობს მაგნიტრონის სპტერი?
მაგნეტრონული დაფქვა არის დეპონირების ტექნოლოგია, რომელიც მოიცავს აირისებრ პლაზმას, რომელიც წარმოიქმნება და შემოიფარგლება შესანახი მასალის შემცველ სივრცეში - "სამიზნე". … ეს შეჯახებები იწვევს ელექტროსტატიკურ მოგერიებას, რომელიც "ამოაგდებს" ელექტრონებს გაჟღენთილი გაზის ატომებიდან და იწვევს იონიზაციას.
რატომ ცურავს RF?
RF ან რადიოსიხშირული ჭურჭელი არის ტექნიკა, რომელიც ჩართულია დენის ელექტრული პოტენციალის ალტერნატივაში ვაკუუმურ გარემოში რადიო სიხშირეებზე, რათა თავიდან იქნას აცილებული მუხტის დაგროვება გარკვეული ტიპის ჭურვის სამიზნე მასალებზე, რამაც დროთა განმავლობაში შეიძლება გამოიწვიოს რკალი პლაზმაში, რომელიც გამოყოფს წვეთებს…
